無塵烘箱廣泛應用于半導體、光學器件、鋰電池、醫(yī)藥及精密電子元件的干燥、固化與老化處理,其核心要求不僅是精準控溫(±1℃),更需維持內(nèi)部微粒濃度極低(ISO5-7級)。若維護不當,易導致顆粒污染、溫度漂移、HEPA失效或內(nèi)腔銹蝕,直接影響產(chǎn)品良率。科學規(guī)范的定期保養(yǎng)
無塵烘箱,是保障潔凈+恒溫雙重要求的關鍵。

一、每日使用前后基礎維護
清潔內(nèi)腔表面:使用無塵布蘸取IPA(異丙醇)或去離子水,擦拭不銹鋼內(nèi)壁、擱板及門封,去除殘留揮發(fā)物或微粒;
檢查門密封性:確認硅膠門封無變形、開裂,關門后無縫隙漏光;
記錄運行參數(shù):核查設定溫度、實際溫度及超溫保護狀態(tài),確保無異常波動。
二、每周例行保養(yǎng)
HEPA/ULPA過濾器檢查:
目視檢查初效過濾器是否積塵,及時更換;
使用風速儀測量高效過濾器面風速(通常0.3-0.5m/s),若下降超20%,需更換HEPA;
擱板與支架清潔:取出擱板,用超聲波清洗機去除微粒附著,烘干后裝回;
排風系統(tǒng)清理:清潔排氣口濾網(wǎng),防止堵塞影響換氣效率。
三、每月深度維護
溫控系統(tǒng)校準:
使用經(jīng)計量認證的多點溫度記錄儀,驗證腔內(nèi)溫度均勻性(典型要求±2℃以內(nèi));
校準主控傳感器與超溫保護探頭,偏差超限需調(diào)整或更換;
內(nèi)腔完整性檢查:
查看焊縫、角接處是否有銹斑或涂層剝落(尤其處理酸性樣品后);
不銹鋼表面如有劃痕,需拋光處理以防藏污納垢;
風機與加熱管除塵:斷電后用吸塵器清除循環(huán)風機葉片及加熱管積塵,提升熱效率。
四、每季度專業(yè)維護
潔凈度測試:委托第三方進行粒子計數(shù)檢測(0.5μm、5.0μm顆粒濃度),確認符合ISO等級;
電氣安全檢查:測試接地電阻(<4Ω)、絕緣電阻及超溫保護功能;
更換老化部件:如門鉸鏈潤滑脂、溫度控制器繼電器、密封條等。